熱損壞法關于濃度較低的有機廢氣處理效果比較好，因此，在處理低濃度廢氣中得到了廣泛應用。這種方法首要分為兩種，即直接火焰焚燒和催化焚燒。直接火焰焚燒對有機廢氣的熱處理功率相對較高，一般情況下可到達 99%。而催化焚燒指的是在催化床層的作用下，加速有機廢氣的化學反應速度。這種方法比直接焚燒用時較少，是高濃度、小流量有機廢氣凈化的首 選技能。

有機廢氣中的吸附法首要適用于低濃度、高通量有機廢氣?，F(xiàn)階段，這種有機廢氣的處理方法現(xiàn)已適當老練，能量消耗比較小，可是處理功率卻比較高，并且可以凈化有害有機廢氣。實踐證明，這種處理方法值得推廣應用。

可是這種方法也存在必定缺點，它需求的設備體積比較龐大，并且工藝流程比較復雜;假如廢氣中有很多雜質，則簡單導致工作人員中毒。所以，使用此方法處理廢氣的關鍵在于吸附劑。當前，選用吸附法處理有機廢氣，多使用活性炭，首要是因為活性炭細孔結構比較好，吸附性比較強。

此外，經過氧化鐵或臭氧處理，活性炭的吸附功能將會較好，有機廢氣的處理將會更加安 全和有用。

生物法凈化voc廢氣是近年發(fā)展起來的空氣污染控制技能，它比傳統(tǒng)工藝投資少，運轉費用低，操作簡單，應用范圍廣，是有望代替焚燒法和吸附凈化法的新技能。從處理的基本原理上講，選用生物處理方法處理有機廢氣，是使用微生物的生理進程把有機廢氣中的有害物質轉化為簡單的無機物，比如CO2、H2O和其它簡單無機物等。這是一種無害的有機廢氣處理方式。